實現了從原料自動輸送、精確計量、氣氛保護、高溫沉積、快速冷卻到包覆處理、混合篩分 除磁分級及自動包裝的全自動化流程,憑借高精度的計量系統、嚴格的氣氛控制、高效的沉 積與包覆技術,確保了產品的高純度、均勻一致性。
工藝流程
硅碳負極CVD工藝流程圖
方案架構圖
行業應用
工程圖片
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